等了4年，ASML口罩对准器终于进厂了！

近日，上海新阳半导体材料有限公司宣布，公司此前采购的ASML-1400掩模对准器等核心设备已进入合作方北方集成电路技术创新中心有限公司现场，后续将进行安装调试等相关工作。上海新阳表示，公司采购的ASML干法掩模对准设备的成功交付，对加快193纳米干法光刻胶产品的开发进度产生了积极影响。

在大基金二期的加持下，光刻胶领域最近备受关注。那么，因为日本的禁运，曾经让韩国半导体行业面临空危机前的光刻胶有什么重要性？国内不断布局的光刻胶企业取得了哪些技术突破？

经过四年的波折，它终于突破了

光致抗蚀剂，也称为光刻胶，是一种对光敏感的混合液体。它是芯片制造过程中不可缺少的材料，决定了半导体图形工艺的精度和良率。在光刻硅片之前，需要涂上光刻胶。如果没有光刻胶，就不能光刻，就不能实现芯片生产。

其中，193nm光刻胶是国内研究的主力，可用于第一代7nm工艺，已被国外厂商销售超过10年。

2016年底，上海新阳发起研发193 nm ArF光刻胶，并安排采购ASML-1400掩模对准器等核心设备。2020年12月14日，有消息称，口罩对准器将于2020年底前交付中国。但由于上海新阳与掩模对准器供应商、北方集成电路技术创新中心有限公司沟通协调的波折，掩模对准器内设备无法在规定时间内交付。

经各方积极协商和操作，该掩模对准设备已于3月8日进入北方集成电路技术创新中心有限公司现场，未来将进行安装调试。

永泰科技成功开发了彩色滤光片用光刻胶，这是平板显示设备的原材料。电子化学品方面，永泰新材料已进入项目验收阶段，年产CF光刻胶1500吨。公司年产60吨有机发光二极管电子材料建设项目稳步推进，在平板显示领域布局持续增加。

荣达感光

荣达公司长期致力于PCB油墨等感光化学品的研发。据了解，荣达感光拥有不到5%的光刻胶及配套化学品业务。在这不到5%的光刻胶业务中，大部分是PCB光刻胶，与集成电路光刻胶相差甚远。

2020年，荣达感光发布的股价变动公告显示:“目前光刻胶业务在公司主营业务中占比相对较小。”该公司在回答投资者提问时表示，目前能生产的半导体光刻胶主要有g/i线正性光刻胶、I线负性光刻胶和I线厚膜胶粘剂。主要包括RD-2000、RD-4000、RD-6000、RD-NL系列等。

广信材料

2018年11月，广信材料与广智新材料股份有限公司签订“技术委托开发合同”，共同开发可应用于印刷电路板柔性基板、LCD及LED显示面板、半导体元器件等领域的高分辨率紫外光正光刻胶，成为光刻胶领域之一。

广信材料在互动平台回复称，公司光刻胶项目研发正在进行中，已取得部分研发成果。

恒坤股份

恒坤股份是国家集成电路材料联盟、存储器联盟成员，3D半导体集成制造创新中心股东、董事单位。公司目前拥有超高纯前驱体和高端光刻胶两大生产基地，并设有多个技术服务中心。

2019年1月，恒坤股份成立了恒坤股份二级子公司福建洪光半导体材料有限公司，开始了高端光刻胶的国产化建设进程。该项目于2019年9月开始试生产，并于2020年初正式量产出货。

此外，此前有报道称，华为在“光敏聚酰亚胺光敏剂及相关小分子添加剂的合成与应用”研究项目中招募博士后。

写在最后

高端光刻胶已逐步迈出国产化第一步。如果进展顺利，国产光刻胶将在2022年实现重大突破，“卡脖子”状态将得到缓解。然而，要实现光刻胶的完全国产化，还有很长的路要走。

—结束—